[배큠 솔더링 공정] IGBT 솔더링 프로세스 솔루션

 

자동차 IGBT 파워 모듈용 솔더링 프로세스 솔루션

차세대 고효율 전력반도체 패키지,차량용 반도체, 다품종 소량생산, 전력반도체, 반도체 용융

 

High power Devices

 

 

VC 제품군 진공 솔더링 리플로우 프로세스

 

 

 

VC 4 프로세스  

예열 구간 예열, 포름산(Formic Acid) 환원

1. 설정된 진공도가 1mbar 미만이 될 때까지 대기합니다.

2. 질소를 채우고 유속을 60-100L/min ~ 950mbar로 설정합니다.

3. 온도를 200℃로 올린다

4. 온도를 30S로 유지하고 동시에 진공을 1mbar로 유지합니다.

5. 포름산을 채우고 유속을 30L/min으로 설정하고 850mbar로 충전합니다.

6. 200℃ 포름산 환경에서 150S 유지

 

용접부 : 기포를 제거하기 위한 용접진공

7. 용접온도 260℃까지 온도를 올린다.

8. 목표온도 도달 후 30초 동안 유지한다.

9. 진공 수준에 도달한 후 60S 동안 유지합니다.

10. 정상 압력인 1000mbar까지 질소를 채웁니다.

 

쿨링

11. 목표온도는 45℃, 냉각수온도는 23℃로 설정한다.

12. 목표온도 도달 후 종료

 

 

 

 

 

VCI 30 3챔버 진공용접로 프로세스  

 - 연속 공정시간 10분/팔레트

예열 캐빈 1 예열, 개미산 환원

1. 설정된 진공도가 1mbar 미만이 될 때까지 대기합니다.

2. 질소 950mbar로 채웁니다.

3. 온도를 200℃로 올린다

4. 온도를 30S로 유지하고 동시에 진공을 1mbar로 유지합니다.

5. 포름산을 채우고 유속을 30L/min으로 설정하고 850mbar로 충전합니다.

6. 200℃ 포름산 환경에서 120S 유지

 

용접실 2: 진공청소 및 기포 제거

1. 설정된 진공도가 1mbar 미만이 될 때까지 대기합니다.

2. 포름산 800mbar를 채운다.

3. 용접온도 260℃까지 온도를 올린다.

4. 목표온도 도달 후 30초 동안 유지

5. 진공 수준에 도달한 후 60S 동안 유지합니다.

6. 질소를 1000mbar, 정상 압력으로 채웁니다.

 

냉각 캐빈 3냉각

1. 목표온도는 45℃, 냉각수온도는 23℃로 설정한다.

2. 목표온도 도달 후 종료

 

 

 

 

VCI 40 4챔버 진공용접로 프로세스  

- 연속 공정 시간 6분/팔레트 생산 능력 50% 증가

SAC305 프로세스 흐름: VCI 30에 비해 출력이 50% 증가합니다.

 

예열 캐빈 1 예열

1. 설정된 진공도가 1mbar 미만이 될 때까지 대기합니다.

2. 질소 950mbar로 채웁니다.

3. 온도를 160℃로 올린다

4. 예열실 2로 입장

 

예열 챔버 포름산 환원

1. 설정된 진공도가 1mbar 미만이 될 때까지 대기합니다.

2. 포름산을 채우고 유속을 30L/min~950mbar로 설정합니다.

3. 온도를 200℃로 올린다

4. 온도를 30S로 유지하고 동시에 진공을 1mbar로 유지합니다.

 

용접실 3: 진공청소 및 기포 제거

1. 1mbar 미만의 설정된 진공 수준으로 진공 청소합니다.

2. 용접온도 260℃까지 온도를 올린다.

2. 목표온도 도달 후 30초 동안 유지

3. 진공 수준에 도달한 후 60S 동안 유지합니다.

4. 정상 압력인 1000mbar까지 질소를 채웁니다.

 

냉각 캐빈 4개 냉각

1. 목표온도는 45℃, 냉각수온도는 23℃로 설정한다.

2. 목표온도 도달 후 종료

 

 

*VCI 40L 4챔버 진공 용접로 공정 솔루션 - 연속 공정 시간 6분/팔레트, 생산 능력 다시 100% 증가

 

 

용접 목표 효과: 단일 보이드율 <1%, 전체 보이드율 <2%

용접 무효율<1%

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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